蔡司氦离子扫描电镜可以实现高效、高精度的纳米级结构加工与成像，是集镓、氖、氦三种离子束为一体的成像加工平台，覆盖了微米到纳米尺度的成像加工应用。0.5nm的成像分辨率，使得其作为加工仪器的同时依然也可实现高分辨率成像。电荷补偿技术令其在不导电样品成像中更胜*。其高精度加工与高分辨率成像能力能够满足材料科学、生命科学等各个领域的研发与检测需求。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
显微镜灵活性高、功能多样，能够提供广泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、电压衬度、晶体学、表面和次表面信息，这种技术的另一个好处是在绝缘样品上的*性能。具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜 提高样品的成像分辨率，提供更多表面细节信息，电镜广泛应用于材料和生命科学领域。在低电压下，借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境条件下实时观察材料的相互作用，控制样品室环境并实现含水生物样品的详细分析。
蔡司氦离子扫描电镜技术特点：
1、通过网络可远程控制
2、在z轴上可机动化的移动50毫米并且在X和y轴上可移动125毫米
3、样本高度大增加到145毫米
4、改进了低真空图像
5、X-射线分析技术
蔡司氦离子扫描电镜是一台能分辨应用的扫描电子显微镜。系统采用多接口的样品室和物镜设计，提供真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并四芄皇迪諼射线分析条件，样品台为五轴控制。标准的无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和成像分析。
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